微纳加工技术开发微流控生物芯片和相关产品的研发和量产，通过设计和模拟降低开发成本，再主要采用MEMS微纳加工技术（光刻、镀膜、刻蚀，键合等工艺，实现SI基芯片），加工制备芯片模芯，产品可以用于光通信，成像领域，以及生化反应，药物筛选等生命健康领域，并可用于细菌环境检测等领域。