纳米实验室清洁切割工具
一、介绍:北京精科华腾科技有限公司致力于提供纳米实验室材料加工工具,这是一种新型
的低成本加工工具,专门用于给纳米加工清洁实验中裁切单晶硅圆片,制备单晶硅圆片的样
品,不需要额外的样品制备空间,而且有效防止由于切割而造成实验室颗粒污。
二、为什么需要这样一套工具?
1、用户是研究人员,而不是取样准备专家。
2、用户数量高:大多数工厂雇用数百人。
3、刻划和切割主要是使用刻划机的手工过程。成功与否完全取决于用户,有的用户会产生
少数而有的用户会产生很多粒子。
4、实验室人员不会去“投资实验室”的设施,他们来了就走了。
5、实验室的成本很难降低。
三、使用工具带来的优势:
1、减低颗粒污染。
2、降低对样品的破坏,从而提高精度。
3、重复试验的需要减少,废料减少。
4、室温下干燥条件下的处理过程,对晶圆是一种保护。
5、在一块样品上直接取样提高了效率降低了成本。
6、用这个工具,缩进和切割过程只会冲击晶圆的边缘(<1mm),而不触及表面或横截面。
这种方法消除了污染,使结构和薄膜完好无损。还可以适用于小的样品。
四、配置
1、切割工具包
带垫子的切割工具包是最全面的刻刀和切割刀。它包括 4 个用于标记和刻划的刻划机和用于
大、小样品的钳子。大面垫保持工作区域清洁,样品安全。
2、直线切割台
可以让您查看您看着样品的正面,在背面进行刻痕切割。直线切割平台是一种紧凑、稳定、
准确、快速和低成本的刻刀和切割工具,适用于任何实验室;不需要任何实用工具。通过将
坚固、固定的钻石刻刀与栅栏导向设计集成到样品平台中,可以在不损坏样品表面的情况下
实现刻痕的准确性。可适用于多种材料,例如:蓝宝石、GaN、玻璃、SiC 等。
3、操作台
在不到 5 分钟的时间内提供了最高的 10μm 切割精度,这使得它对于实验室来说是理想的,
它既能对速度和高精度进行估价,同时又能适应各种样品的大小、厚度和材料。正在申请的
的专利的操作台与显微系统集成为一体,其中包括一个 4μm 光学分辨率的单眼显微镜,彩
色 ccd 相机和实时图像采集和显示软件,以及一个 x-y 平台。这个专用的切割工作站被设计
成任何用户都可以用来测量、对齐、缩微、切割和检查加工过的样品。